Mit dem EDX-Verfahren lassen sich die in einer Probe enthaltenen Elemente nachweisen.

Arbeitsprinzip
Die im Elektronenmikroskop erzeugten und beschleunigten Primärelektronen stoßen Elektronen aus kernnahen Schalen der in der Probe enthaltenen Atome heraus. In die so entstandenen Lücken fallen Elektronen der äußeren Schalen, die dabei Energie in Form von Röntgenstrahlung freisetzen. Diese Röntgenstrahlung ist für jedes Element spezifisch.
Mit der EDX-Analyseneinheit wird die Energie und Intensität der Röntgenstrahlung in einem Spektrum aufgezeichnet und den in der Probe enthaltenen Elementen zugeordnet.

REM: zerstörungsfreie, strukturbezogene Elementanalyse (ab Ordnungszahl 6, Kohlenstoff) von Oberflächen und Auflagerungen bei gleichzeitiger Darstellung der Oberfläche sowie Elementverteilungsbilder im Analysebereich, qualitativ und semiquantitativ.

TEM: zerstörungsfreie, strukturbezogene Analyse extra- und intrazellulärer Elemente, Partikel und Fremdkörper (ab Ordnungszahl 9, Fluor).